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新乡硅烷废气净化

2019-04-23 00:00:00    来源:胜博发环保    点击:312    喜欢:0

硅烷被用于等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)过程来生产基于氢化非晶硅和纳米晶硅的薄膜太阳能电池。在CVD过程之后,多余 的气体滞留在CVD系统,最后排气系统将未反应的气体排放到大气当中。然而,由于硅烷能 在空气中自动燃烧,所以出于安全和对环境保护的目的,不能把它直接排放到大气中。硅烷sbf123胜博发娱乐公司业务电话:13838518390赵

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